V400ACE™ разработан специально для для модификации схем и анализа отказов. Ионная колонна Tomahawk обеспечивает высокопроизводительную и точную обработку образца, а также дает изображения в высоком разрешении.
В электронике встречаются только две проблемы - наличие контакта там, где его быть не должно, и отсутствие контакта там, где он должен быть. V400ACE™ способен решить обе из них путем прямого доступа к кристаллу и прецизионных операций травления/сварки/резки и т.д.
Прибор оборудован высокоточным пятикоординатным 4-дюймовым столиком.
Уникальная система доставки газов nanoChemix™ максимально эффективно доставляет и хранит до пяти реагентов.
Революционный детектор ICE позволяет регистрировать вторичные электроны и ионы, дополняя классический сцинтиляционный детектор конвертером ионов и фронт-енд предусилителем.
V400ACE может быть оборудован для обработки тыльной стороны подложки, с дополнительным ИК микроскопом и комплектом для создания канавок в кремнии.
- дополнительный ИК микроскоп и система травления канавок
- нейтрализатор заряда
- программные дополнения, например CAD навигация
| Предельное разрешение | 5 нм |
|---|---|
| Ток пучка | 1 пА - 65 нА |
| Инжекция газовых реагентов | XeF2, H2O, O2, Cl2, W, TMCTS |