Эллипсометрия это метод определения показателя преломления и коэффициентов отражения образца при помощи измерения изменения поляризации отраженного поверхностью света. Толщина пленки и оптические константы поглощающего слоя или оксидной пленки на поверхности субстрата могут быть определения с потрясающей чувствительностью.
Традиционная интерференционная спектроскопия использует свет, проходящий через отдельные оптические пути, тогда как эллипсометрия это вариант интерферометрии который использует два колебательных компонента с одного оптического пути, обеспечивая измерение с высокой точностью и чувствительностью.
Разработанная фирмой JASCO оптическая схема с фотоэластичным модулятором обеспечивает стабильность измерений, одновременно позволяя использовать такие дополнительные преимущества, как высокоскоростное измерение и сканирование по диапазону длин волн.
Оптическая система с фотоэластичным модулятором подвергает образец облучению светом прошедшим через высокоскоростную модулирующую система (50 КГц) и измеряет изменение в поляризации одновременно регистрируя исходный (50 КГц) сигнал и вторичную гармонику (100 КГц) с помощью двухканального усилителя. Специальная запатентованная оптическая система прибора обеспечивает высокую стабильность и устраняет возможные изменения из-за колебаний температуры в помещении.
Компания JASCO разработала специальное программное обеспечение для расчета толщины пленки и оптических констант для каждого из слоев многослойного материала, базирующееся на параметрах эллипсометрических измерений (Δ, ψ)λ для данного материала. Модель многослойной пленки с вычислением оптических констант и толщины подбирается с помощью методов минимизации погрешности для измеренных величин.
| Измерительная система | Фотоэластичный модулятор с двойным захватом сигнала |
| Длина волны | лазерный источник с длиной волны 650 нм Ксеноновая лампа с монохроматором для диапазона 350 - 800 нм |
| Спектральная ширина щели | 1 нм |
| Угол падения | В интервале от 45° до 90° (непрерывный интервал) |
| Толщина пленки | 1 - 99,999 Å |
| Время измерения | от 1 мс и более (дополнительно от 20 мкс) |
| Диаметр пучка | Показатель преломления: ±0.01 Толщина пленки: ±1 Å (±0.1 нм) Коэффициент отражения: ±0.01 Величины при времени измерения 100 мс или более и могут меняться в зависимости от состояния поверхности и качества пленки |
| Столик для образца | Стандартный размер образца: от 15 до 150 мм (квадратный или круглый) |
| Оптическая система | Механизм переключения оптического пути Поляризатор (призма Рошона), фотоэластичный модулятор (PEM), оптический сервопривод и канал сравнения (призма глана-тейлора, плоское зеркало, и фотоумножитель) |
| Отделение образца | Стандартный столик обеспечивает работу с различными углами падения и различными размерами образца. |
| Система детектирования | Анализатор (призма глана-тейлора) и фотоумножитель (R928) |
| Экспертное оснащение лабораторий: оборудование, закупка и сопровождение | ||||
| Профессиональная команда по оснащению лабораторий. Индивидуальный подбор под задачу, сопровождение закупки в частном и государственном секторе по ценам производителя, комплексное обслуживание после поставки. | ||||
| Опыт в цифрах | ||||
|
| ||||
|
|
Вопросы и ответы
Получите экспертную
консультацию
Оставьте заявку, мы свяжемся с вами и проконсультируем по интересующим темам