Конфокальный лазерный сканирующий микроскоп отраженного света LEXT
- Производитель: Olympus
- Модель:LEXT
Olympus LEXT – конфокальный лазерный сканирующий микроскоп отраженного света. Обладает уникальным сочетанием высокой разрешающей способности (до 0,12 мкм), непревзойденной глубины резкости и огромного диапазона увеличения (120х-14400х).
Одновременная обработка лазерного конфокального и обычного RGB изображения. Изображение в ДИК позволяет легко задавать диапазоны 3D сканирования поверхности.
Непревзойденное разрешение с использованием твердотельного 408 нМ лазера: 0,12 мкм по длине/ширине и 0,01 мкм по высоте сопоставимо с разрешением SEM электронных микроскопов.
Высокоточные измерения в режиме 2D и 3D в диапазоне от 1 мкм до 1.5 мм по каждой оси, например толщины прозрачных тонких пленок, глубины, площади, периметра, углов, радиусов и др. морфологических характеристик объектов. Воспроизводимость измерений 0,02 мкм по горизонтали и 0,052 мкм по вертикали.
Бесконтактный анализ шероховатости как гладких, так и грубых поверхностей с использованием интуитивно понятного программного обеспечения. Статистическая обработка результатов. Автоматизация анализа с помощью моторизированных компонентов.
Краткие технические характеристики:
| Лазерный сканирующий | Универсальный | ||
| Метод исследования | Лазер | Лазер, светлое и темное поле, ДИК | |
| Освещение | Лазер | 408 нМ твердотельный лазер. | |
| Класс 2 | |||
| Светлое поле | — | Галогеновая лампа 12В100Вт | |
| Фокус | Вертикальный ход столика | 70 мм | |
| Максимальная высота образца | 100 мм | ||
| Вертикальный ход револьверной гоовки | 10 мм | ||
| Разрешение | 0,01мкм | ||
| Объективы | 5x, 10x, 20x, 50x, 100x | ||
| Оптический Zoom | 1x-6x | ||
| Общее увеличение | 120x-14400x | ||
| Поле зрения | От 2560x2560 мкм до 21x21 мкм | ||
| Предметный столик | Механический | Перемещение 100x100 мм | |
| Моторизированный | Перемещение 150x100 мм | ||
| Оцифровка изображения | 1024x1024x12bit\ 1024x1024x16bit | ||
| Автофокус | Лазерный | ||