Система напыления металлов C156RS — настольная установка магнетронного распыления постоянного тока с форвакуумным насосом для пробоподготовки к сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). Наносит тонкие проводящие покрытия из Au, Ag, Pt, Cr и других металлов, чтобы убрать заряд с поверхности образца и получить чёткое изображение. Прибор разработан и производится в России компанией «Научные Технологии и Сервис». Купить C156RS можно с доставкой по России; цена — по запросу.
Сферы применения
- биологические образцы (клетки, ткани, насекомые) — золото и платина для высокого разрешения;
- непроводящие полимеры и пластики перед съёмкой в СЭМ;
- минералы, керамика, стекло и геологические образцы;
- полупроводниковые структуры и электронные компоненты;
- адгезионные металлические подслои перед другими покрытиями;
- учебные и сервисные лаборатории электронной микроскопии.
Преимущества
- магнетрон постоянного тока до 100 мА — стабильное напыление Au, Ag, Pt, Cr и других металлов;
- форвакуумный насос 19,8 м³/ч закрывает большинство задач пробоподготовки без лишней стоимости турбосистемы;
- камера Ø156×150 мм из боросиликатного стекла — видно процесс и удобно работать с крупными образцами;
- столик Ø100 мм вращается до 20 об/мин — покрытие ложится равномернее по поверхности;
- сенсорный экран 7″ и ПО на русском — меньше ошибок оператора и быстрее обучение;
- память более 1000 рецептов — типовые режимы запускаются без ручной настройки каждый раз;
- опции: турбонасос 90 л/с, кварцевые весы толщины, держатель под задачу, столик с нагревом.
Принцип работы
Ионы аргона выбивают атомы с металлической мишени магнетрона; атомы оседают на образце тонкой проводящей плёнкой. Это снижает зарядку поверхности в пучке СЭМ и улучшает контраст. Форвакуумная система поддерживает рабочий вакуум в диапазоне до 10⁻³ мбар; при необходимости глубину вакуума расширяют опциональным турбомолекулярным насосом.
Надёжное российское производство
C156RS — отечественная разработка с учётом практики пользователей электронных микроскопов. Локальное производство упрощает поставку мишеней, уплотнителей и сервис без долгого ожидания импорта.
Технические характеристики
- материалы напыления: металлы (Au, Ag, Pt, Cr и др.);
- тип испарителя: магнетрон постоянного тока, ток разряда до 100 мА;
- камера: боросиликатное стекло, Ø156 мм, высота 150 мм;
- столик: Ø100 мм, вращение до 20 об/мин;
- вакуум: автоматический форвакуумный насос 19,8 м³/ч (турбонасос 90 л/с — опция);
- давление: 1000 мбар – 10⁻³ мбар (форвак); с турбонасосом — до 10⁻⁹ мбар;
- управление: сенсорный экран 7″, ПО на русском, >1000 рецептов;
- габариты и вес: 450×300×400 мм, 22 кг.
Комплектация
- базовый блок с управляющей электроникой;
- магнетрон;
- вакуумная система с форвакуумным насосом;
- предметный столик Ø100 мм с вращением;
- камера Ø156×150 мм из боросиликатного стекла;
- сенсорный экран 7″, ПО на русском;
- книга рецептов напыления и стартовый набор расходных материалов.
Гарантия и доставка
Заказать систему напыления металлов C156RS можно в АССА Лабораторные системы с доставкой по России. Поможем подобрать опции (турбонасос, измеритель толщины, держатели) под ваши образцы и задачи СЭМ.
Заказать систему напыления C156RS
Чтобы узнать цену, получить коммерческое предложение или консультацию по комплектации, свяжитесь с АССА Лабораторные системы.
| Параметры | C156RS | |
|---|---|---|
| Испаритель | ||
| Материалы напыления | Металлы | |
| Тип испарителя | Магнетрон постоянного тока | |
| Максимальный ток | Разряда — 100 мА | |
| Вакуумная камера | ||
| Материал вакуумной камеры | Боросиликатное, прозрачное бесцветное стекло | |
| Внутренний диаметр вакуумной камеры | 156 мм | |
| Высота вакуумной камеры | 150 мм | |
| Диаметр столика для образцов | 100 мм | |
| Вакуумная система | Полностью автоматическая, форвакуумный / турбомолекулярный* насосы | |
| Производительность форвакуумного насоса | 19,8 м3/ч | |
| Производительность турбомолекулярного насоса* | 90 л/с | |
| Предметный столик | ||
| Максимальная скорость вращения столика | 20 оборотов в мин. | |
| Держатели образцов | Стандартный держатель, держатель под задачи* | |
| Программное обеспечение | ||
| Управление процессом напыления | Графический сенсорный экран 7” | |
| Измерение давления (встроенный датчик вакуума) | Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (турбонасос) | |
| Измерение толщины покрытия* | Кварцевые весы* | |
| Сохранение и загрузка пользов. рецептов | >1000 шт | |
| Габариты и вес (без опций) | 450х300х400 мм, 22 кг | |