Returning Customer
I am a returning customer
Register Account
If you already have an account with us, please login at the login form.
Ваша учетная запись создана!
Поздравляем! Ваш Личный Кабинет был успешно создан.
Теперь Вы можете воспользоваться дополнительными возможностями: просмотр истории заказов, печать счета, изменение своей контактной информации и адресов доставки и многое другое.
Если у Вас есть какие-либо вопросы, напишите нам.
Выход
Вы вышли из Личного Кабинета.
Ваша корзина покупок была сохранена. Она будет восстановлена при следующем входе в Ваш Личный Кабинет.
Автоматическая цифровая многоканальная система поддержания давления в вакуумной камере
- Производитель: Мета-хром
- Модель: многоканальная система
Система включает в себя цифровой ионизационно-термопарный вакуумметр с непрерывным диапазоном измерения давления, автоматической дегазацией датчиков и цифровой натекатель газа содержащий два или более встроенных прецизионных регуляторов расхода газа, с теплометрическими измерителями расхода газа, что позволяет прибору работать в режиме автономного напуска заданных расходов газа, независимо от входного давления.
Буквами на схеме показано:
А — электронный блок вакуумметра
B — провод питания 220В
С — термопарная лампа
D — ионизационная лампа
E — электронный блок натекателя
G — сигнальные кабеля
H — кабель обмена данными с IBM
J — IBM
L — кабель обмена данными между блоками
M — кабель для подключения дополнительных устройств в сеть
N,O — вход рабочих газов
P,R — выход рабочих газов.
Управление приборами системы осуществляется как с клавиатуры на корпусе (автономно), так и дистанционно с ЭВМ через сетевой интерфейс RS-485.
Система предназначена для автоматического управления расходом рабочих газов (инертных и реактивных), например, магнетронных и ионно-лучевых технологических процессов нанесения металлов, их нитридов, оксидов, карбидов, карбонитридов и других одним или более распылителями в условиях постоянства или воспроизводимости мощности разрядов. Система работает в непрерывном диапазоне значений давления без переключения пределов измерений от 100 до 10-5 Па (0,8-10-7 мм. рт. ст.).
Датчики вакуумметра преобразуют величину давления в вакуумной камере, в электрические сигналы. Эти сигналы поступают в усилители нормализации и далее в контроллер. Контроллер передает обработанное значение давления на многоканальный натекатель рабочих газов. Расход рабочих газов поддерживается на уровне, при котором в ходе процессов нанесения покрытий сохраняется величина давления в вакуумной камере, а также состав потока (соотношение газов), из которого формируется покрытие.
Показания термопарного и ионизационного датчиков выводятся на экран вакуумметра одновременно.
По итогам конкурса «Лучший отечественный измерительный прибор-2008» приборы «Вакуумметр цифровой с непрерывным расширенным диапазоном измерения» и «Цифровой натекатель газов» признаны лауреатами и получили соответствующие дипломы.
На дисплее натекателя отображается заданное и измеренное давление, расходы газов по каналам, а также заданная и измеренная пропорция газового потока.