Returning Customer
I am a returning customer
Register Account
If you already have an account with us, please login at the login form.
Ваша учетная запись создана!
Поздравляем! Ваш Личный Кабинет был успешно создан.
Теперь Вы можете воспользоваться дополнительными возможностями: просмотр истории заказов, печать счета, изменение своей контактной информации и адресов доставки и многое другое.
Если у Вас есть какие-либо вопросы, напишите нам.
Выход
Вы вышли из Личного Кабинета.
Ваша корзина покупок была сохранена. Она будет восстановлена при следующем входе в Ваш Личный Кабинет.
Анализатор поверхности Theta 300
- Производитель: Thermo Fisher Scientific
- Модель:Theta 300
За счет использования революционной технологии Theta 300 позволяет проводить следующие типы неразрушающих исследований поверхности:
- Доза
- Чистота
- Распределение химических состояний по поверхности
- Толщина слоёв
- Однородность слоёв (включая скрытые, подповерхностные слои)
- Химический состав
Основные области применения:
- High - k диэлектрики
- Low - k диэлектрики
- Барьерные слои
- Примеси, имплантированные на микроскопическом уровне
- Металлические затворы
- Самоорганизующиеся слои
- SiGe
- Контактные площадки
Чем может помочь метод РФЭС?
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) позволяет проводить анализ химических состояний на поверхности твёрдых материалов. Анализ образцов крупных размеров позволяет контролировать однородность полноразмерных полупроводниковых пластин.
Система позволяет проводить неразруша.ющий анализ сверхтонких покрытий (толщиной до 10 нм) с разрешением по глубине 0.1 нм, используя запатентованную технологию PARXPS (такая же система использована в приборе Theta Probe).
Для более толстых плёнок (до 2 мкм) используется система травления пучком ионов, которая позволяет проводить послойный анализ методом РФЭС для построение профилей распределения концентраций на большие глубины.